带你了解等离子清洗机的操作原理

发布日期：2019-02-22 13:58 来源：http://www.jingjiuzdh.com 点击：

　　等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。

　　等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。通过化学或物理作用对工件表面进行处理，实现分子水平的污染物去除，从而提高工件表面活性。被清除的污染物可能有有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等，所以等离子清洗是一种高精密清洗。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺。一般来说，根据选择的工艺气体不同，等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。

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