影响真空等离子清洗机均匀性的因素

发布日期：2019-01-30 13:18 来源：http://www.jingjiuzdh.com 点击：

　　影响真空等离子清洗机均匀性的因素很多，包括腔体大小、进气方式、电极结构、电源频率、气体流量、功率大小等等。简要介绍腔体大小和进气方式对均匀性的影响。

　　1、真空等离子清洗机腔体的容积越大，均匀性越难掌控，尤其对电源的选择要慎重。真空等离子清洗机自10L以上都可进行个性化的设计。但如等离子发生器只选用13.56MHz的RF电源，那么建议尽量控制在600L以内，腔体越大所需的RF电源功率就越大;尤其是使用3000W及以上功率，则建议使用美国AE、MKS或其他进口的RF电源，成本相对较高，但稳定可靠。如处理的产品对均匀性要求高，建议使用40KHz的中频电源或将真空腔体控制在100L以内。

　　2、等离子清洗设备使用前进气后排气的方式，经过测试这种均匀性相对较好。腔体内的进气管通常用铝管，将铝管弯折并焊接成类似方形结构并在铝管上开孔，开孔位置在两层电极板的中间，保证每层处理空间都有独立的进气品。